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液氧

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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品名?。?氧氣

CAS : 7782-44-7

英文名 Oxygen

液氧 - 用途

高純氧氣體主要用于半導體器件的熱氧化、擴散、化學(xué)氣相沉積及等離子蝕刻等工藝,還可用于光導纖維、彩色顯像管制造并作標準氣、校正氣和零點(diǎn)氣等。作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑。對于MOS場(chǎng)效應器件,氧化層必須相當致密,采用高純氧氣進(jìn)行干法氧化,其氧化層結構致密,正電荷少,耐壓高,能滿(mǎn)足生產(chǎn)需要。與四氟化碳混合,可用于等離子刻蝕。

液氧 - 安全性

助燃壓縮氣體,無(wú)毒。但暴露在高濃氧中,對肺和中樞神經(jīng)有不良影響。所有可燃物質(zhì)、特別是油和油脂,不得與高濃度氧接觸。對所有可能的著(zhù)火源,都必須加以封閉或撤離。置于陰涼處,嚴禁與酸、堿、油脂、易燃易爆物品及高溫熱源、電火花接近,并避免撞擊。


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廠(chǎng)房環(huán)境

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