二氟化氙（XeF2） 二氟化氙（XeF2），又稱(chēng)二氟代氙，分子量為169.30，是一種無(wú)色固體，在室溫下容易升華而形成透明晶體。二氟化氙在中性或堿性溶液中分解，在酸性溶液中較為穩定，水溶液有刺激氣味。二氟化氙蒸汽是無(wú)色的，具有令人發(fā)嘔的惡臭。在電子工業(yè)中，XeF2常被用作硅的蝕刻氣體，由于XeF2和硅的化學(xué)反應是自發(fā)反應，XeF2對硅的腐蝕工藝具有非常高的選擇性，在XeF2對硅進(jìn)行腐蝕過(guò)程中，XeF2氣體通過(guò)自由擴散到硅襯底表面，并與最外層硅原子發(fā)生化學(xué)反應生成氣態(tài)Xe和氣態(tài)SiF4，從而實(shí)現對硅的腐蝕。

CAS ：13709-36-9

英文別名：XeF4

產(chǎn)品指標

項目Items 單位Unit 指標Index

二氟化氙Xenon difluoride (XeF2) ≥ Vol.% 99.9

鉀Kalium (K) ≤ mg/kg 0.18

鈣Calcium (Ca)≤ mg/kg 0.15

鈉Sodium (Na)≤ mg/kg 0.7

鎂Magnesium (Mg)≤ mg/kg 0.12

鋁Aluminum (AI) ≤ mg/kg 0.17

鋅Zinc (Zn)≤ mg/kg 0.3

鐵lron (Fe) ≤ mg/kg 1.21

鉛Plumbum (Pb)≤ mg/kg 0.07

銅Cuprum (Cu)≤ mg/kg 0.05

鉻Chromium (Cr)≤ mg/kg 0.15

錳(Mn) ≤ mg/kg 0.04

鉬Manganese (Mo) ≤ mg/kg 0.15

鎳Nickel (Ni)≤ mg/kg 0.83

磷Phosphorus (P)≤ mg/kg 0.14

產(chǎn)品用途：

在電子工業(yè)中，XeF 2常被用作硅的蝕刻氣體。此外，二氟化氙是一種選擇性很好的氟化試劑，在無(wú)機氟化物制備及有機合成中有廣泛的應用，但其只有在氣相和非水溶液中才具有氟化性質(zhì)，在水溶液中只能起氧化劑的作用。

包裝、貯存：

二氟化氙是一個(gè)穩定的化合物，可長(cháng)期儲放于鎳制容器或鋁合金無(wú)縫鋼瓶?jì)?，包裝規格有100g、500g、1kg、2kg和5kg規格，以滿(mǎn)足科研院所及生產(chǎn)型企業(yè)的不同要求。具體包裝規格可根據用戶(hù)需求定制更改。二氟化氙儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房，應與氧化劑、食用化學(xué)品、堿金屬分開(kāi)存放，遠離火種、熱源。