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三氟化磷(PF3)

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三氟化磷(PF3)



化學(xué)式

PF3

中文名稱(chēng)

三氟化磷

英文名稱(chēng)

Phosphorus  Trifluoride

CAS No.

7783-55-3

分子量

87.969

充裝量


應用

發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。

三氟化磷是一種無(wú)機化合物,其化學(xué)式為PF3,在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)味的有毒氣體,液態(tài)時(shí)為無(wú)色透明液體,空氣中不太發(fā)煙,相當穩定,加熱時(shí)與氫反應生成PH3,能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解??扇苡谝掖?。除在高溫外,不腐蝕玻璃。


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